TMC主動空氣隔振調平系統PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS（精密電子定位系統）基礎上并對其進行了改進。通過添加新的數字控制器，PEPS II更易于使用，提供了更多功能，還有一個改進的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動隔振系統的數字非接觸式高度控制系統。這種系統通常包括機械高度閥和機械高度傳感連桿。其應用包括需要改善穩定時間和提高產量的半導體制造設備以及需要最佳噪聲性能和平臺穩定性的精密實驗室環境。
TMC主動空氣隔振調平系統PEPS II特點
●數字控制，用戶友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統的非接觸式電動氣動高度控制
●Z軸位置重現性：10微米
●由于消除了傳統機械高度控制系統的杠桿接觸點，從而改善了隔振效果
●氣動前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺運動的反應
●可以調整以快速穩定由X-Y平臺引起的運動
●可選的“VX"功能集成了慣性傳感器，用于主動阻尼垂直隔振器共振
●與“軟塢站"兼容。允許在沒有運動安裝的情況下加載/卸載晶圓
●相稱的電子閥門。“開關"或傳統電子閥不會產生脈沖噪聲
●排氣管用于廢氣的清潔處理
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規格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸（43.7mm）高 x 8.0英寸（203mm）寬 x 9.4英寸（240 mm）深 |
重量 | PEPS II控制器：約3.0磅（1.2千克） |
環境
（參見EN 61010-1：1993,
EN 61010-1/A2: 1995） | 僅限室內使用，最高2,000米海拔（6560英尺）
最大允許溫度范圍：5°C至35°C
最大允許濕度：31°C以下時為80％，40°C時線性降至50％相對濕度
主電源電壓容差：85 VAC - 240 VAC
過電壓類別：2
污染等級（IEC 664）：2
通風要求：兩側間隙25毫米，上下間隙0毫米 |
電源要求 | 電源輸入電壓范圍：90-230 VAC
輸入頻率范圍：50-60 Hz |
PEPS II用戶界面
（前面板） | 電源開關
4個菜單按鈕
LCD顯示20 x 2個字符
2個診斷插座（BNC型）
三色狀態指示燈
USB 端口 |
PEPS II 界面
（后面板） | 帶EMI濾波器的交流電源輸入
1個空氣輸入卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道
1個空氣輸出（排氣）卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道
4個空氣卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道（每個隔振器一個）
DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座
1個Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭（垂直接近傳感器）
1個Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭（水平接近傳感器）
接地螺紋螺柱（＃10-32螺紋）
DB-25 F插座：1個數字輸入端，3個地震檢波器傳感器接口（“-VX"選件）
DB-25 F插座：1個數字輸入端，3個電流輸出接近傳感器（可選） |
PEPS II
性能規格 | 模擬輸入（單極）：8 x 12位（16位使用過采樣），0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸入（前饋）：5 x 12位
（16位使用過采樣），±9 V滿量程
模擬輸入（單極）保護：+5伏，-0.5 V限幅
模擬輸入（前饋）保護：±15伏限幅
模擬輸出：4 x 12位（16位使用采樣），0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出（可選）：8 x 16位，0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出保護：無限短路保護，+5伏限幅
數字輸入電壓額定值：0 ... +3.3 V，+5 V容差（+5伏限幅）
數字輸出額定值：0 ... + 3.3 V，最大20 mA
數字I/O保護：+5伏，-0.5伏限幅
外部可用電源：+5 VDC，最大2.0 A；+15 VDC，最大1.0 A（最大20瓦）
通訊端口：USB，在PC上顯示為RS-232
處理器：ARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路率：100 Hz - 2.0 KHz
接近傳感器：3個垂直、（3個水平可選）渦流，NAMUR 0-20 mA輸出
速度傳感器 - 地震檢波器（“-VX"選件）：3個垂直，電流輸出 |
氣動規格 | 長期高度穩定性：±50微米
長期傾斜穩定性：±50微弧度
伺服閥：4 x 雙向可變節流孔比例伺服閥
閥門技術：純甲類
最大輸入壓力：120 PSI或8.3巴或830 KPa
標稱耗氣量：60標準升/分鐘（2標準立方英尺/分鐘）
空氣要求：潔凈、干燥的空氣，過濾至20微米或以上
故障安全：隔振器在電源故障或斷電時會放氣
氣動接頭：“一觸式"快速接頭，適用于1/4英寸外徑軟管 |
性能
